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蔡司鎢燈絲掃描電鏡利用鎢燈絲產(chǎn)生的熱電子來(lái)形成電子束。這個(gè)電子束被聚焦并加速,然后通過(guò)一系列的透鏡系統(tǒng)來(lái)控制和聚束。電子束掃描樣品表面,并與樣品相互作用。與樣品交互作用的電子會(huì)產(chǎn)生多種信號(hào),包括二次電子、反射電子、散射電子等。這些信號(hào)被探測(cè)器捕捉,并轉(zhuǎn)化為圖像。