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偏振能量色散X射線熒光光譜儀SPECTRO-XEPOS德國傳統(tǒng)的光學技術(shù)與現(xiàn)代工藝的結(jié)合創(chuàng)造出多功能多用途的測試技術(shù)結(jié)合德國斯派克集三十年之大成的分析軟件演繹出高穩(wěn)定性及高靈敏度的全譜檢測儀器。$n偏振X射線能譜技術(shù)開創(chuàng)熒光分析的新紀元創(chuàng)新的光學系統(tǒng),精彩繽紛,井井有條的檢出下限及穩(wěn)定性流暢的界面及專業(yè)的軟件包。
波長色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評估的X射線熒光分析儀同時對各種薄膜的薄膜厚度和成分進行無損、非接觸式分析。這是一種波長色散X熒光光譜儀(WD-XRF),可以以非破壞性和非接觸方式同時分析尺寸達~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。
日本理學連續(xù)波長色散X射線熒光光譜儀ZSX Primus 400專為處理非常大或重的樣品而設(shè)計,非常適合分析濺射靶材、磁盤,或用于多層薄膜計量或大型樣品的元素分析。
理學波長色散型X射線熒光光譜儀Simultix 15是一種用于分析物質(zhì)成分的儀器。它利用X射線與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的特征性熒光輻射進行分析。
德國斯派克X熒光光譜儀采用與斯派克公司高性能實驗室用臺式熒光光譜儀相同的小型低能量的X射線管,保證了準確的離子激發(fā)效果。特殊開發(fā)的SDD檢測器,數(shù)據(jù)采集速度10倍于傳統(tǒng)的檢測器,提高了儀器的分析靈活性。
斯派克 X熒光光譜儀 XEPOS技術(shù)參數(shù)內(nèi)部采用高性能部件,可獲得好的靈敏度和準確性。采用偏振次級靶以確保*佳激發(fā),12位樣品自動交換器,預(yù)先安裝好的應(yīng)用軟件包和智能軟件模塊,使SPECTRO XEPOS成為真正的多功能元素分析儀。